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TNO nutzt seine EUV-Expositions- und Analyseeinrichtung mit USHIOs hochintensiver EUV-Lichtquelle

Das niederländische Forschungsinstitut TNO bietet Forschungs- und Evaluierungsdienstleistungen unter Verwendung seiner EUV-Expositions- und Analyseeinrichtung, die mit USHIOs hochintensiver EUV-Lichtquelle ausgestattet ist.

Verwendet hauptsächlich zur Erforschung und Auswertung von EUV-Optiken, Masken, Abziehemulsionsschichten und Sensoren

Die niederländische Organisation für angewandte wissenschaftliche Forschung (nachfolgend „TNO“) und USHIO INC. (Hauptsitz: Tokio, Präsident und CEO: Kenji Hamashima) gaben heute bekannt, dass TNO am 27. März 2017 eine experimentelle EUV-Expositions- und Analyseeinrichtung („EBL2“) eröffnet hat. Mit dieser Einrichtung bietet TNO EUV-Unternehmen und Instituten die Möglichkeit, EUV-Optiken sowie Masken, Abziehemulsionsschichten und Sensoren zu untersuchen und auszuwerten.

Die experimentelle EUV-Expositions- und Analyseeinrichtung „EBL2“ von TNO ermöglicht In-situ-Messungen, einschließlich des gesamten Prozesses der Handhabung, Bestrahlung und Auswertung von Proben unter Vakuumbedingungen. USHIOs hochintensive und leistungsstarke EUV-Lichtquelle ermöglicht die Belichtung und Auswertung eines großen Feldes (bis zu einer 6 Zoll großen Maske) und leistet gleichzeitig einen großen Beitrag zur Verkürzung des Auswertungszeitraums.

Wilbert Staring, Director Strategic Accounts, erklärte, dass bei der Entwicklung und dem Aufbau von EBL2 der Beitrag von Partnern wie USHIO eine wichtige Rolle bei der Schaffung dieser einzigartigen Einrichtung gespielt hat. Die Partnerschaft mit USHIO verlief sehr gut.

Mit dem Ziel, den EUV-Lithografieprozess für die Serienfertigung zu etablieren, wird USHIO seine EUV-Lichtquellentechnologien für die Inspektion ultrafeiner Masken weiterentwickeln und somit zur Weiterentwicklung des hochmodernen Halbleiterherstellungsprozesses beitragen.

Über TNO

TNO (Hauptsitz: Den Haag, Niederlande) ist eine unabhängige Innovationsorganisation. TNO verbindet Menschen und Wissen, um Innovationen zu schaffen, die die Wettbewerbsfähigkeit der Branche und das Wohlergehen der Gesellschaft nachhaltig stärken. Genau das treibt die 2.800 Fachkräfte von TNO bei ihrer täglichen Arbeit an.
TNO setzt sich für die gemeinsame Schaffung eines wirtschaftlichen und sozialen Nutzens ein. TNO steht für sinnvolle Innovation. TNO schafft Wissen nicht um seiner selbst willen, sondern für die Praxis. TNO arbeitet mit Partnern zusammen und konzentriert sich auf fünf Neuerungen, die gemeinsam mit Stakeholdern identifiziert wurden.
TNOs International Center for Contamination Control wurde mit dem Ziel gegründet, die Forschung und Entwicklung im Bereich der Kontaminationskontrolle für Branchenpartner voranzutreiben, und wird durch eine Vielzahl experimenteller Einrichtungen unterstützt.

Weitere Informationen unter: https://www.tno.nl/en/

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