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UV-Excimer-Oberflächenbestrahlung

Excimer-Lampen: ExciJet VUV-Bestrahlungsmodule

Das Flaggschiff der Excimer-Bestrahlungssysteme von Ushio, der ExciJet, emittiert individuell konfigurierbare Vakuum-Ultraviolett-Wellenlängen (VUV) zwischen 170 und 350 nm. Durch Variation der Edelgasfüllung im Lampeninneren sind wir in der Lage, die Wellenlänge genau an die Anforderungen Ihrer jeweiligen Anwendung anzupassen.

Eine mit Xenon-Gas (Xe) gefüllte ExciJet-Excimer-Lampe beispielsweise emittiert in der Regel VUV-Strahlung von 172 nm, wenn die angeregten Dimere dissoziieren. Die Bestrahlung von Substraten mit der gängigen 172-nm-Excimer-Wellenlänge eignet sich für viele industrielle Anwendungen wie z. B. die Oberflächenaktivierung.

Eine mit Kryptonchlorid (KrCl) gefüllte Lampe emittiert bei der Excimer-Dissoziation Fern-UVC-Photonen mit einer Wellenlänge von bis zu 222 nm. 222 nm hat zwar aufgrund seiner Eignung für die keimtötende UV-Bestrahlung (UVGI) an Bedeutung gewonnen, allerdings empfiehlt Ushio für diesen spezielle Anwendungsfall seine UV-Desinfektionslampe Care222.

Die Excimer-Technologie wird zunehmend zur Entfernung organischer Verunreinigungen, zur Oberflächenmodifikation und zur „kalten“ Polymervernetzung eingesetzt. Die kompakten ExciJet-Excimer-Entladungslampen von Ushio eignen sich besonders für den Laboreinsatz, die Prozessentwicklung und die Integration in bestehende industrielle Produktionsanlagen. Größere ExciJet-Systeme sind für Produktionsumgebungen optimiert, in denen es auf die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung großer Flächen ankommt.

Die 172-nm-Lampen von Ushio haben bereits das Interesse von Kunden in der Luft- und Raumfahrt und der Automobilindustrie geweckt. Excimer-Entladungslampen mit dielektrischer Sperrschicht sind außerdem dafür bekannt, bestimmte Materialien ohne Epoxid oder andere Chemikalien miteinander zu verbinden

Viele Unternehmen aus den unterschiedlichsten Bereichen schätzen den Excimer bereits als effektive Inline-Lösung. Sowohl bei Installation in Produktionsumgebungen als auch bei Integration als Einzelkomponente in ein OEM-System erntet der ExciJet von Ushio das Lob vieler namhafter Branchenführer. Wie Ushios Excimer-Team arbeitet und Ihnen jederzeit zur Seite steht, veranschaulichen unsere Kooperationen mit zwei zufriedenen Kunden:

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT) – PhotonFlex-Projekt
SteriLux SA – Das SteriLux-Sterilisationssystem

Anwendungen

  • Reinigung optischer Oberflächen
  • Oberflächenaktivierung/Oberflächenbehandlung: verbesserte Oberflächenbenetzbarkeit, kleinere Kontaktwinkel zwischen Oberfläche und Flüssigkeit, verbesserte Haftung von Druckfarben, Lacken und Klebstoffen.
  • Photochemie
  • Vorbehandlung von Verbundwerkstoffen für die Beschichtung
  • Photobonding™ von Materialien zur Gewichtsreduzierung. Dieses Verfahren ist völlig klebstofffrei und nutzt eine Kombination aus Excimer-Licht und Hochdruck, um eine dauerhafte Verbindung von Substratoberflächen herzustellen.
  • Oberflächenmattierung mit hoher Homogenität
  • Desinfektion und Entfernung von Verunreinigungen wie Staub
  • Aushärtung und Polymerisation
  • Biologische Modifikation von Gasen, Flüssigkeiten und Feststoffen
  • Ozonerzeugung

Lampentypen

  • Ushio bietet Ihnen eine große Auswahl an Produkten, von Instrumenten für die Grundlagenforschung über Standardstrahlungsquellen bis hin zu integrierten Systemen, die für Ihre speziellen Produktionsanforderungen optimiert sind.
  • Instrumente für die Konzeptbewertung
  • Quellen für die großflächige Bestrahlung
  • Inline-Gerätekomponenten
  • Vielfältige Längen- und Leistungsoptionen (dimmbar): von Lampen mit 9 W Leistung und 55 mm Länge bis hin zu Lampen mit 2 kW und 2600 mm
  • Unbegrenzte Lampenleistung und individuelle Kalibrierung für die Untersuchung verschiedener Spektren
  • Phosphorgenerierte Wellenlängen von 170 bis 350 nm

Vorteile

  • Hohe Energie dank kurzer Wellenlänge
  • Kalte Lichtquelle
  • Antistatisch, chemikalienfrei und quecksilberfrei
  • Kein zusätzliches Netzteil erforderlich
  • Zur Verwendung auf empfindlichen Substraten wie Filmen und Folien geeignet
  • Unterstützung von Linienspektren und breiten Streuungen
  • Verzögerungsfreies Ein- und Ausschalten ohne Heiz- und Kühlzyklen
  • Bessere Manövrierbarkeit dank der kompakten Bauform der ExciJet-Module
  • Einfache Steuerung und integriertes Netzteil
  • Skalierbarkeit für potenziell unbegrenzten Einsatz von Lampen und Modulen
  • Kompakte, individuell konfigurierbare Plug-and-Play-Module für Laboruntersuchungen
  • Robuste, dimmbare und mobile Lösungen für industrielle Anwendungen
  • Hohe Homogenität, optimal für die Halbleiterfertigung
  • Reinigung mit 300 m/min bei der LED-Panel-Herstellung dank VUV-Leistung von über 170 mW/cm2
  • Unterstützung durch kompetenten Kundendienst für noch mehr Zufriedenheit bei Entwicklung und Produktion

Die neuesten Broschüren und Produktkataloge von Ushio finden Sie auf unserer Download-Seite. Wenn Sie eine formelle Anfrage stellen möchten, füllen Sie bitte das Formular auf unserer Kontaktseite aus.

Weiterführende Literatur

Excimer: Die Erklärung der Technik

Alternative Möglichkeiten der Oberflächenbehandlung für empfindliche Substrate: Korona vs. Plasma vs. Excimer

Produktseite Care222 – keimtötende UV-Bestrahlung

Care222: Antibakterielle, antivirale UV-Desinfektionslösungen

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT) – PhotonFlex-Projekt

SteriLux SA – Das SteriLux-Sterilisationssystem