Excimer SUE-Serie
Excimer SUE-Serie
Die Excimer-Module der SUE-Serie wurden spezielle für die stationäre Behandlung von Substraten entwickelt. Sie eignen sich unter anderem insbesondere für die Oberflächenreinigung und -aktivierung von Oberflächen von Wafern, PCB und Glas. Spezielle Einsatzgebiete finden sich in der Elektronik- und Halbleiterfertigung sowie der Sensorherstellung.
Auch die Excimer SUE-Serie ist in unterschiedlichen Standard-Baugrößen erhältlich, abgestimmt auf gängige Materialabmessungen. Sie zeichnet sich durch eine sehr gute Homogenität über die gesamte Strahlungsfläche aus, ohne Leistungsabfall an den Rändern. Eine Quarzscheibe sorgt zudem für eine hochreine Umgebung.
Merkmale
- Unterschiedliche Standard-Baugrößen von 150 bis 300 mm
- sehr gute Homogenität über die gesamte Strahlungsfläche
- Konstant-Intensitätsmodus für stabile Prozesse
- Quarzscheibe für hochreine Umgebungen
Technische Daten SUE-Baureihe
- Wellenlänge (nm): 172
- Intensität (mW/cm²): 10 – 50
- Lebensdauer Lampe (70 % in h): 1000
- Bestrahlungsgröße (mm): 150 – 300
- Homogenität (%): < ± 10
- Anzahl Excimerstrahler: 3 – 4
- Konstant-Intensitätsmodus: teilweise verfügbar
- Leistungsaufnahme (W): 150 – 1200
- Stickstoffverbrauch (l/min): 20 – 50
Anwendungsbegiete:
- Halbleiterindustrie
- Sensorikindustrie
- Elektronikindustrie
- v.a.
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Weiterführende Literatur
Excimer Hyper V / Hyper V ST-Serie
Excimer ExciJet172 55-130 Laborsystem
Excimer: Die Erklärung der Technik
Care222: Antibakterielle, antivirale UV-Desinfektionslösungen
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT) – PhotonFlex-Projekt