Excimer-Technologie

zur Oberflächenreinigung und Oberflächenaktivierung

Bei der Excimer-Technologie handelt es sich um ein strahlungsbasiertes Verfahren zur Reinigung und Aktivierung von Oberflächen, das bei unterschiedlichsten Materialien wie Kunststoff, Glas oder Metallen eingesetzt werden kann.
Im Gegensatz zu anderen Methoden ist die Excimer-Bestrahlung besonders präzise, gleichmäßig und schonend und daher insbesondere für empfindliche Oberflächen wie z. B. Membranen oder Wafer geeignet.

Ushio bietet zwei Excimer-Produktreihen: Die Hyper V-Serie, die speziell für Inline Behandlungen entwickelt wurde, sowie die SUE-Serie, die für die stationäre Bestrahlung optimiert wurde.