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    • IR-Double-ended-Single-TubeIR-A – IR-A Das Nahe IR-Spektrum beschreibt die kurzwellige Strahlung, die direkt an den sichtbaren Bereich des Spektrums angrenzt und Wellenlängen zwischen 780 und 3.000 nm aufweist. Nahes IR wird zur kontaktfreien und schnellen thermischen Aufbereitung verwendet. Hohe Leistungsdichten der Lampen im nahen IR-Bereich machen diese Wellenlängen zur bevorzugten Wahl für RTP-Anwendungen in der Halbleiterindustrie sowie für das Ausblasen von PET-Flaschen im Bereich der Vakuumformung (Thermoforming). Aber auch in Glüh- oder Schmelzprozessen kommen diese Wellenlängen zum Einsatz.
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RTP
Die schnelle thermische Verarbeitung („Rapid Thermal Processing“, RTP) besteht aus einem berührungslosen Schnellerwärmungsprozess mit IR-Strahlung, der eine Verunreinigung des Wafers vermeidet. USHIO liefert Heizleistungen von mehreren Kilowatt in Form von speziell entwickelten Einzel- und Doppelend-IR-Strahlern.

  • IR-Single-ended-Pin-Type

    Einseitig gesockelte IR-Lampe

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  • IR-Double-ended-Single-Tube

    IR-Doppelend-Einfachröhre

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  • IR-Double-ended-Twin-Tube

    IR-Zwillingsrohrstrahler

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