Steigerung der Produktionskapazität von Direct-Imaging-Lithografieanlagen und Bau einer Produktionsanlage für EUV-Lichtquellen zur Maskeninspektion
Die Ushio Gruppe, angeführt von Ushio Inc. (Hauptsitz: Tokio; Präsident und Chief Executive Officer: Koji Naito; im Folgenden „Ushio“), hat als Reaktion auf die wachsende Nachfrage nach einem breiten Spektrum an Belichtungslösungen für die hochauflösende Lithografie beschlossen, die Produktionskapazität von vollautomatischen Direct-Imaging (DI)-Lithografieanlagen zu erhöhen und eine neue Produktionsanlage für EUV-Lichtquellen (extremes Ultraviolett) zur Inspektion von Belichtungsmasken zu errichten.
Bei Halbleitern, Leiterplatten (PCBs) und Trägerplatten für integrierte Schaltkreise (ICs) ist mit einer steigenden Nachfrage und technologischen Innovationen zu rechnen, da die Nachfrage nach Informations- und Kommunikationstechnologie (IKT) in den letzten Jahren rasant zugenommen hat. Gründe dafür sind der anhaltende Fortschritt des Internets der Dinge (IoT) mit der kommerziellen Einführung der fünften Generation (5G) der Mobilfunktechnologie und der Vormarsch intelligenter Geräte sowie die zunehmende Verbreitung von Online-Diensten in Verbindung mit einem immer größeren Datenverkehr.
Vor diesem Hintergrund wird Ushio rund 2,0 Mrd. Yen (ca. 15,7 Mio. Euro) in den Ausbau seiner Produktionsanlagen im Werk Nagaoka der ebenfalls zur Ushio Gruppe gehörenden ADTEC Engineering Co., Ltd. investieren. Die Ziele dieser Investitionen werden im Folgenden erläutert. Diese Kapitalinvestition erfolgt im Rahmen der Investitionsinitiativen zur Wachstumsförderung, die im mittelfristigen Managementplan der Ushio Gruppe (veröffentlicht am 31. Juli 2020) definiert wurden.
- Steigerung der Produktionskapazität von vollautomatischen DI-Lithografieanlagen (auf ca. das 1,4-Fache der bestehenden Kapazität) als Reaktion auf die weltweit wachsende Nachfrage nach Lithografieanlagen, die in der Lage sind, der weitreichenden Entwicklung in der Technologie zur Erzeugung von Schaltungsmustern für Leiter- und Trägerplatten (in der Back-End-Fertigung von Halbleitern) Rechnung zu tragen, sowie auf die zunehmende Größe von Lithografieanlagen
- Sicherstellung einer stabilen Versorgung, gleichbleibenden Leistung und Qualitätsverbesserung von Kernkomponenten, die in EUV-Lichtquellen für die Maskeninspektion verwendet werden; dies spielt eine wichtige Rolle bei der Kommerzialisierung der EUV-Lithografietechnik, die für die Massenproduktion von Halbleitern der nächsten Generation unerlässlich ist.
Im Folgenden eine Übersicht über das neue Gebäude und das neue Werk:
- Übersicht über die erworbenen Immobilien (Grundstück und Gebäude)
Adresse: 392-1 Mishimashimbo, Nagaoka, Präfektur Niigata
Fläche: 14.970 m²
Gesamtnutzfläche (bestehendes Gebäude): 4.410 m²
Herzustellende Produkte: vollautomatische DI-Lithografieanlagen, Fabrikautomationsanlagen (FA) - Übersicht des neuen Werks (am oben genannten Standort)
Gesamtnutzfläche (neu): 2.000 m²
Fertigstellung: geplant für Frühjahr 2022
Herzustellende Produkte: Kernkomponenten für den Einsatz in EUV-Lichtquellen für die Maskeninspektion usw.
Ushio wird sich auch weiterhin für die konsequente Verbesserung der Leistung und Qualität von DI-Lithografieanlagen und EUV-Lichtquellen für die Maskeninspektion einsetzen, um mit seiner Lichttechnologie einen Beitrag zum gesellschaftlichen Fortschritt zu leisten.
Weitere Informationen zur Erweiterung der Produktionskapazität finden Sie auch auf der Website von ADTEC Engineering.
ADTEC Engineering Co.,Ltd. (Hauptsitz: Tokio)
ADTEC wurde 1983 gegründet. Das Unternehmen hat sich seither zu einem führenden Hersteller von Belichtungstechnik entwickelt. Seit 2014 ist das Unternehmen eine hundertprozentige Tochtergesellschaft von Ushio Inc, Japan. ADTEC hat seine Produktpalette von vollautomatischen Belichtungsgeräten auf modernste digitale Belichtungsgeräte ausgeweitet, die mit einem großen Marktanteil an Kunden weltweit geliefert werden. Das Unternehmen hat sein Geschäft auch in die Bereiche Ultrapräzisionsbearbeitung und Fabrikautomation (FA) diversifiziert. Weitere Informationen finden Sie unter https://www.adtec.com/.
