Excimer Lampen


Excimer brochure

Die Reinigung ist ein notwendiger (und ständiger) Prozess bei der Halbleiter-Herstellung, um das Substrat von chemischen und organischen Verunreinigungen zu befreien. VUV Lichtreinigung ermöglicht die Abbildung ultrafeiner Strukturen und höherer Integrationsdichten und steigert darüber hinaus die Produktivität. Excimer Lampen werden häufig auch in der LCD-Industrie eingesetzt. Außerdem werden sie vielfach verwendet zur Steigerung der Benetzbarkeit von Spin-On Glass (SOG) und Spin-On nichtleitender Beschichtung/Folie, außerdem bei Oberflächenbehandlungen, optischer Trübung und für die chemische Prozessstimulierung.

 

Ushio Code

Radiaton area

SUS-63

230 mm / 230 mm

SUS-100

347 mm / 347 mm

SUS-128

170 mm / 170 mm

UER20H-172V

Ø 28 mm

UER20H-222

Ø 28 mm

UER20H-222V

Ø 28 mm

UER20H308

Ø 28 mm

UER20H-308V

Ø 28 mm