VUV / Excimer
VUV ist die Abkürzung für Vakuum-Ultraviolett, d.h. Wellenlängen kürzer als 200 nm. Diese Wellenlängen werden stark vom Sauerstoff in der Luft absorbiert. Sie sind zum Beispiel in Halbleiterherstellungsprozessen wie die Aushärtung sowie für optische Reinigungsprozesse von Bedeutung. Betrachten Sie alle Produkte von Ushio in diesem Spektralbereich.
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