Lampes UV superieures
Une source de lumière idéale pour la lithographie < 1µm, et où la résolution dépend grandement de la longueur d'onde de la source de lumière.
Les lampes UV Supérieures d'USHIO émettent une énergie à haut rayonnement sur une large surface d'exposition (haute uniformité) nécessaire pour la lithographie < 1µm.
Ushio Code |
Puissance (W) |
|---|---|
SUV-1500CIL |
1500 |
SUV-1500SIL |
1500 |
SUV-2000HI |
2000 |
SUV-2000NIL |
1750 |
SUV-2001CIL |
2000 |
SUV-2001NIL |
1750 |
SUV-2002NIL |
1750 |
SUV-2011NIL |
2000 |
SUV-2011NIHL |
2000 |
SUV-2500SIL |
2500 |
SUV-2501NIL |
2500 |
SUV-2510NIL |
2500 |
SUV-2510 NIHL |
2500 |
SUV-2701CI |
2700 |
SUV-3500NI |
3500 |
SUV-3500SIL |
3400 |
SUV-5500SI |
5500 |