Lampes Excimer


Excimer brochure

Dans l'industrie du semiconducteur, le nettoyage est un processus inévitable pour éliminer toutes les contaminations chimiques et organiques des substrats.

Le nettoyage par lumière UV permet de concilier des modèles ultra fin avec les plus hauts niveaux d'intégration et permet également d'augmenter la productivité.

Les lampes excimer sont également largement utilisées pour améliorer le trempage des vitres "spin-on" (SOG) et les films diélectriques "spin-on" (SOD), le traitement de surfaces, la stimulation de "cendres" optiques et des procédés chimiques.

Ushio Code

Champ de Radiation

SUS-63

230 mm / 230 mm

SUS-100

347 mm / 347 mm

SUS-128

170 mm / 170 mm

UER20H-172V

Ø 28 mm

UER20H-222

Ø 28 mm

UER20H-222V

Ø 28 mm

UER20H308

Ø 28 mm

UER20H-308V

Ø 28 mm